ALICAT 氣體質量流量計-低壓損型

產品特色

●  數字化產品
●  多參數顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
●  可選高精度：可優于0.5%
●  可測范圍廣，0.01~100%滿量程

●  滿量程超低壓損為480Pa

●  響應時間快，優于10 ms

●  內置98種氣體

●  可現場標定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣

ALICAT 氣體質量流量計-低壓損型20W系列

精度升級

量程為0.5 SCCM - 1000 SLPM，

其中10 SCCM - 100 SLPM量程段，下述指標升級：

質量流量普通精度        ± 0.75% 讀數或± 0.1% 滿量程（取最大值）

質量流量高精度           ± 0.6% 讀數或± 0.1% 滿量程（取最大值）

重復性                         ±（0.1% 讀數 + 0.02% 滿量程）

質量流量零點漂移       ± 0.03% 滿量程 / ℃溫差± 0.01% 滿量程 / Atm壓力差

質量流量量程漂移       ± 0.01% 讀數 / ℃溫差± 0.1 % 讀數 / Atm壓力差

技術指標

介質要求    非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質種類    內置了98種氣體，請參考背面

                   一臺設備內置所有氣體，用戶可現場選擇

量       程    從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 1000 SLPM

量程可測比    0.01%～100%滿量程

最大顯示流量    128%滿量程

顯  示  屏    帶按鍵背光開關，標準為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度

精       度    ± （0.8%讀數 + 0.2%滿量程） 精度升級部分見左下角

                  ± （0.4%讀數 + 0.2%滿量程）（可選）

累計流量精度    流量精度之外額外增加±0.5%讀數誤差

重  復  性    ±（0.2%讀數+0.02%滿量程）

質量流量溫度零點和滿量程漂移    0.03%滿量程/ ℃（從25℃開始）

質量流量壓力零點和滿量程漂移    ±（0.08 % 讀數 + 0.02 % 滿量程）/ Atm

                 （從校準壓力開始）

響應時間    127 ms（可調）                  

預熱時間    < 1 s

默認標況（STP）    25 ℃ & 1Atm（其它標況可調）

工作溫度    -10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項）

溫度精度    ± 0.75 ℃

工作濕度    0 ～ 95 %，無冷凝

最大工作壓力    0.3 MPa表壓，進出口最大允許瞬時壓差70 Kpa

操作壓力    如果不做真空特殊標定，建議在絕壓80 KPaA以上使用； 

                          其他真空壓力建議做特殊標定

壓力精度    ±0.75%讀數（＞1 Atm），或±0.1PSIA（＜1Atm）

滿量程壓損    參考詳細壓損表

數據刷新頻率    數字信號40 Hz@ 19200波特率；模擬信號：1000 Hz

屏幕刷新頻率    10 Hz

數字輸出信號    RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、

                  Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus

模擬輸出信號    0 - 5 VDC、1- 5 VDC、0 -10 VDC、4-20mA

可選第二路模擬輸出    質量流量、體積流量、壓力、溫度

模擬信號精度    在基礎誤差上額外增加 ± 0.1 % 滿量程誤差

供電電壓    9-24 VDC（如選4-20 mA或0-10VDC輸出，須為12-24VDC）

供電電流    40 mA （+ 40 mA輸出電流在 4-20 mA 或0-10VDC）

電氣接口    DB9M，可選DB15、6針工業接頭、8針Mini-DIN等

泄漏率（外漏）    選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He 

材       質    302、303不銹鋼、Viton、硅橡膠、環氧樹脂、

                  玻璃增強聚苯硫醚、鋁、玻璃、硅、金

過程連接    詳情參考壓損表

安裝方式    對位置無要求                      

防護等級    IP40

認    證    ISO 9001、NIST溯源認證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA（可選）